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2025 年,隨著 ISO 14644 系列標準再次修訂,無塵室的空氣品質管理邁入新階段。不再僅以靜態驗證為主,更多著重於「實際運行時的風險控制」。面對這波趨勢,微粒子計數器的選擇與佈局方式,已不只是儀器設備問題,而是製程良率與法規合規的核心課題。本篇將從實務角度出發,深入解析新標準下的計數器應用策略,協助生醫、半導體與精密製造領域制定更精準的潔淨室監測方案。
不同產業的無塵室需求不一,選擇合適的設備至關重要:
✔ 建議:優先考量監測頻率、粒徑範圍與法規需求(如 ISO 14644-1、EU GMP)。
根據 ISO 21501-4 規範,微粒子計數器每年至少須校正一次,以確保光學感測器精度維持穩定。若未定期校正,設備可能因雷射光源老化而產生偏差,導致數據不符實際狀況。
✔ 建議:選擇具 TAF 認證的校正實驗室,並保留完整報告供稽核追溯。
單點數據無法反映整體空間風險,建議在關鍵區域設置多台微粒子計數器,進行區域性比較與趨勢追蹤。遠端型機種可連接 BMS 或 EMS 系統,自動傳輸數據,減少人為干擾。
✔ 建議安裝位置:
現代微粒子計數器內建圖表生成與報表輸出功能,可視化資料有助於異常事件溯源與 SOP 調整。部分高階型號(如 TSI AeroTrak 系列)支援整合儀器聯網、自動警報設定、時間軸紀錄等功能。
✔ 建議:搭配空調、壓差與溫濕度資料交叉比對,更能洞察系統運作異常的根源。
微粒子計數器也可作為濾網效率驗證的重要工具,協助確認 HEPA 或 ULPA 濾網安裝是否正確、效能是否衰退。尤其在更換濾網或清潔作業後,務必再次檢測空氣品質。
✔ 建議:搭配 PAO 漏風測試進行全區潔淨度驗證,有效避免局部污染未察。
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美國 TSI AEROTRAK™ 微粒子計數器,全系列產品符合 ISO 21501-4 精準度嚴格規定,出廠前由美國 TSI 採用 PSLs 校正,追溯 NIST,是公認的校正標準粒子。
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型號 | 圖 | 主要特點 | 適用場景 | 優勢 |
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![]() | 便攜式,高精度,廣泛測量範圍,數據存儲功能 | 各種環境快速測量 | 便利性高,量測簡單,性價比高的選擇 | |
![]() | 大流量,每分鐘100升,多通道測量 | 生物醫藥業, A級區,針劑製藥等一立方公尺取樣體積環境 | 高精度,高流量測量,多通道數據分析, CFR Part11數據管理及追溯, 三級管理權限, IQ/OQ/PQ確效文件 | |
![]() | ISO 14644-9表面大顆粒分級管理標準, ISO 14644-17最新顆粒沉降係數風險管理 | Parts Clean, 機器/物件表面大型顆粒殘留 | 取代ISO 14644-1, 小型懸浮顆粒0.1 um-5 um之無塵室潔淨度分級管理 | |
![]() | 高精度,1 CFM/每分鐘28.3升,穩定測量性能,友好操作界,市面上最普及, 最符合標準, 內建法規級標準量測方式, 測試報各判別Pass/Fail | 各大半導體,光電廠/封裝測試/適合從Class 1-Class9等環境 | 便於攜帶,適合日常監測以及廠房驗收和品質管制 | |
![]() | 適合遠距連續監測, 高性能,檢測0.2-25微米,多通道測量,有內建pump和外接Pump | 潔淨室,製藥工業 | 施工便利, 品質穩定,適合連續24小時偵測,更適合精密環境, 實現即時監測的 |
在無塵室監控邁向數位化、常態化的當下,過去「測一次就好」的思維早已不敷使用。微粒子計數器不再只是測量工具,而是整體品質控制系統中的即時預警核心。能否在污染擴散前精準識別風險源,將是未來潔淨室管理競爭力的分水嶺。透過合理選型、佈點策略與數據整合,企業不僅能因應 2025 年的國際標準,更能在高要求的產業環境中,站穩腳步、強化品質韌性。
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