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無塵室鞋底汙染怎麼辦？半導體產業實用5種清潔預防策略
在無塵室作業流程中，鞋底攜帶的微粒往往是最容易被忽略的污染源之一，卻可能對半導體製程造成重大影響。尤其在前段光罩製程、蝕刻、薄膜沉積等精密環節中，即便是極微小的粒子，也可能導致線路瑕疵或成品報廢。傳統的靜電貼墊或人工黏塵方式雖具基本清潔效果，但已難以應對高階製程對潔淨度的要求。為此，半導體業者紛紛導入更高效的鞋底清潔預防策略，以強化進出管制、降低交叉污染風險。本文將整理五種實用又具備實證效益的無塵室鞋底清潔對策，協助企業全面提升製程潔淨管理能力。
1. 傳統腳踏黏墊的侷限
腳踏黏墊雖為最常見且低成本的防護工具，但在實際使用中往往出現下列問題：
- 附著力會遞減：表面黏性隨踩踏次數下降，效力不連續
- 無法深入清潔：鞋底溝槽殘留粒子不易清除
- 人為疏忽風險高：黏墊沒換、踩過不留痕、以為有清其實沒清
- 不符ESG要求：高耗材、高塑膠廢棄量
對於出入密集的高階廠區來說，黏墊往往成為「看似有做、實際無效」的偽保護。
2. 濕式清洗搭配吸水乾燥
要有效去除鞋底上的污染物，單靠黏貼不足以對抗微粒與油脂附著。較完整的作法是結合：
- 水洗＋毛刷摩擦：透過濕式旋轉毛刷剝離粒子與污垢
- 高分子吸水墊：可去除多餘水分，防止濕腳進入無塵區
這樣的流程可使鞋底在「離開外部」與「進入潔淨區」之間，完成一次真正的轉換與隔離，減少交叉污染的機率。
3. 導入自動化鞋底清潔設備
許多半導體廠已從黏墊過渡至自動化清潔設備，具體優勢如下：
- 感應啟動，減少人為操作誤差
- 刷洗、吸水一體化，提高效率
- 可程式控制，配合進出規範
- 可整合門禁與風淋系統，建立流程閉環
這類設備特別適合部署於Clean to Dirty、Critical Zone Entrance、風淋室前後等關鍵進出口點。
4. AVANT智能鞋底清潔機介紹（ISCM）
AVANT智能鞋底清潔機是一款結合紅外線啟動、濕式清洗與乾燥吸水的智慧清潔設備，專為高潔淨需求的產業設計，特別適用於半導體、生技與GMP等環境。
主要特色：
- 紅外感應 + 微電腦控制：人員經過即自動啟動清潔程序
- 清洗結構：毛刷水洗鞋底、清水循環清潔刷頭
- 吸水乾燥：高分子PVA海綿吸除殘水，避免二次污染
- 支援門禁整合：可連動風淋室、打卡、門鎖系統
- 通過國際認證：CE、ISO 9001、ISO 13485、SGS-ROHS等
規格型號：
型號 | 結構型式 | 適用場合 |
|---|---|---|
T系列 | 履帶式 | 一般廠務鞋、防靜電鞋 |
B系列 | 滾筒式 | 鞋底紋路較深、清潔需求較強 |
5. 乾刷式鞋底清潔機：無水清潔解決方案
相較濕洗系統，乾刷式清潔設備提供另一種靈活選擇，適用於無法安裝排水系統、限制用水的半開放空間或二線出入口。
技術特性：
- 不需用水：清潔過程完全依賴刷毛摩擦＋強力吸塵
- 滾筒毛刷設計：5mm鞋底溝槽亦可有效刷除
- 紅外線感應控制：使用歐姆龍感應器，感應啟動設備
- 雙旋鈕調整：可調整刷洗與吸塵的每次運作時間
- 吸塵裝置：飛塵由吸塵馬達處理，較大顆粒則掉入兩個集塵盒
- 材質與設計：不鏽鋼機身，耐用、防腐蝕
- 維護簡便：集塵盒可抽出清理，無需停機拆解
- 產品保固：1年內故障免費提供備品與更換教學
適用情境：
- 設備搬運出入口、非濕區通道、用水不便的廠房
- 鞋底污染程度較低但仍需日常清潔的空間
濕式 vs 乾式鞋底清潔設備比較表
清潔方式 | AVANT濕式清潔機 | 乾刷式清潔機 |
|---|---|---|
是否使用清水 | 是（循環水系統） | 否（純刷洗＋吸塵） |
清潔機構 | 毛刷濕洗＋PVA吸水海綿 | 滾筒毛刷＋吸塵＋集塵盒 |
適用鞋底狀況 | 髒污中高、油汙、靜電等 | 一般粉塵或乾性微粒 |
安裝需求 | 需供水排水 | 不需供水排水，僅需電源 |
維護方式 | 清水補充＋吸水墊更換 | 集塵盒清理，定期檢查毛刷與吸塵器 |
適用位置 | 主入口、風淋室前、核心區 | 次入口、廠房邊界、乾區通道 |
強化鞋底潔淨管理，守住半導體製程的第一道防線
無論是導入智能鞋底清潔機、優化出入口配置，或是結合人員動線與清潔頻率控管，鞋底清潔策略已不再只是輔助措施，而是無塵室維持高潔淨標準的核心之一。2025年潔淨室規範日趨嚴格，半導體產業若能從鞋底污染這一源頭做好預防，不僅能有效降低製程風險，更能在高度競爭的全球市場中，保持品質優勢與良率穩定。現在正是重新檢視鞋底潔淨機制、全面升級防護策略的最佳時機。
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