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無塵室標準 ISO 14644 詳細指南｜如何確保空氣潔淨度達標？
無塵室（Cleanroom）是各種高科技產業的關鍵環境，從 半導體、製藥、食品加工到生物醫學，都需要嚴格控制空氣中的微粒污染，以確保產品的品質與安全。而 ISO 14644 無塵室標準 是國際公認的潔淨室管理規範，為空氣潔淨度的分級、測試方法與監測要求提供完整指引。
本篇文章將詳細解析 ISO 14644 各項標準、無塵室等級分類與測試方法，並說明如何確保環境符合規範，以提升產品品質並符合全球市場需求。
ISO 14644 無塵室標準概述
ISO 14644 是由 國際標準組織（ISO） 所制定的一套標準，專門針對無塵室及受控環境的管理、測試與認證。這套標準取代了過去的 美國聯邦標準 209E，成為全球公認的潔淨室規範，適用於 電子製造、半導體、醫療設備、製藥、航太與食品產業。
為什麼無塵室需要 ISO 14644 標準？
無塵室的核心目標是 降低空氣中微粒濃度，以確保生產環境不受污染影響。例如，在半導體產業，一顆微小的塵埃可能導致晶片短路，而在製藥產業，污染物可能影響藥品的安全性。因此，ISO 14644 標準的實施能夠：
- 統一潔淨度標準，確保不同產業對無塵室的認定一致。
- 提供測試與監測方法，確保無塵室環境持續達標。
- 幫助企業取得國際認證，提高市場競爭力與客戶信任。
ISO 14644-1:2015 無塵室等級分類
無塵室潔淨度標準
ISO 14644-1:2015 主要根據 空氣中粒子濃度，將無塵室分為 ISO 1 到 ISO 9 等級，其中 ISO 1 為最高潔淨度，ISO 9 則與一般室內環境相當。
等級 | ≥0.1µm (粒子數/m³) | ≥0.2µm (粒子數/m³) | ≥0.3µm (粒子數/m³) | ≥0.5µm (粒子數/m³) | ≥1.0µm (粒子數/m³) | ≥5.0µm (粒子數/m³) |
|---|---|---|---|---|---|---|
ISO 1 | 10 | 2 | – | – | – | – |
ISO 2 | 100 | 24 | 10 | – | – | – |
ISO 3 | 1,000 | 237 | 102 | 35 | 8 | – |
ISO 4 | 10,000 | 2,370 | 1,020 | 352 | 83 | – |
ISO 5 | 100,000 | 23,700 | 10,200 | 3,520 | 832 | 29 |
ISO 6 | 1,000,000 | 237,000 | 102,000 | 35,200 | 8,320 | 293 |
ISO 7 | – | – | – | 352,000 | 83,200 | 2,930 |
ISO 8 | – | – | – | 3,520,000 | 832,000 | 29,300 |
這些標準確保了各產業在不同潔淨度要求下，能夠採取適當的無塵室管理措施。
ISO 14644-2:2015 無塵室測試與監測
ISO 14644-2:2015 針對 無塵室的持續監測與驗證，確保環境長期符合標準要求。
無塵室監測與測試要求
- 空氣微粒測試
- 透過 微粒子計數器（Particle Counter） 測量空氣中的懸浮微粒數量，確保符合分級標準。
- 測試頻率根據無塵室等級決定，等級越高，監測頻率越高。
- 氣流模式測試
- 檢測潔淨室內的氣流模式，包括 層流（Laminar Flow）或亂流（Turbulent Flow），確保氣流方向能有效帶走污染物。
- HEPA/ULPA 過濾系統測試
- 測試 高效過濾器（HEPA）或超高效過濾器（ULPA） 是否有效過濾空氣中的微粒。
- 壓差測試
- 檢測不同區域間的氣壓差，確保污染物不會從低潔淨度區域擴散至高潔淨區域。
這些監測與測試要求，能夠確保無塵室環境持續符合 ISO 14644 規範，降低污染風險。
ISO 14644 其他標準與應用
除了 ISO 14644-1 和 ISO 14644-2，該系列標準還涵蓋 無塵室的設計、運行與污染控制，確保全面的潔淨環境管理。
- ISO 14644-3：測試方法，包含風速測試、過濾器洩漏測試等。
- ISO 14644-4：無塵室的設計與建造規範，適用於新建或改建的潔淨室。
- ISO 14644-5：潔淨室運行管理，包括人員進出規範、清潔與維護標準。
- ISO 14644-8：氣態污染物控制，適用於對化學污染高度敏感的產業，如半導體與製藥業。
- ISO 14644-9：表面潔淨度標準，確保無塵室內的設備與工作區域符合潔淨要求。
如何確保無塵室環境符合 ISO 14644？
1. 建立內部無塵室管理計畫
- 設計符合 ISO 14644 規範的無塵室環境，確保人員、設備與物料的潔淨管理。
2. 定期進行測試與監測
- 透過 粒子計數器、風速測試、過濾系統檢測 來確保潔淨度符合標準。
3. 取得第三方 ISO 14644 認證
- 透過認證機構驗證無塵室環境，取得 ISO 14644 認證，提高國際市場競爭力。
ISO 14644 是全球公認的無塵室標準，為各產業提供 無塵室等級、測試方法與監測機制 的明確規範。透過落實 ISO 14644 標準，企業可以確保潔淨室環境達到最優化狀態，降低污染風險，提升產品品質與市場競爭力。
對於 半導體、製藥、光學、航太與食品產業，建立符合 ISO 14644 的無塵室環境，是確保生產穩定與符合國際標準的關鍵。
延伸閱讀:
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